昊华科技：公司电解制氟核心技术可延伸开发高纯氟气混配气体产品相关产品处于研发阶段

2026-02-10 15:38:48

　　每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：贵公司已澄清暂无产品直接用于光刻胶。那么请问，贵公司的电子特气产品（如高纯四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨等）是否服务于光刻胶的上下游产业链（如晶圆制造、刻蚀、清洗环节）？在成为中国领先的综合性电子材料供应商的战略下，贵公司是否有计划将自身的

　　昊华科技（600378.SH）2月9日在投资者互动平台表示，公司电子特气产品包括电子级三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、硒化氢、硫化氢、溴化氢、三氟化硼等，主要应用于集成电路制造的清洗、刻蚀、离子注入、化学气相沉积等制程工艺。公司电解制氟核心技术可延伸开发高纯氟气混配气体产品，相关产品处研发阶段。